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製品案内
プレリュード
- 表面処理設備 -
プレリュード式
小中規模生産用汎用モデル
特徴
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多様な工程、後処理にも対応可能
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複雑形状品に最適
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特殊な構造の採用により、従来問題となっていた、治具跡、エアーポケット
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打痕等が発生しにくく、膜厚均一性に優れています。
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全自動プログラムを採用している為、工程の管理が容易にできます。
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各種安全対策対応(オーバーラン・位置異常検知・過昇温検知・渇水検知等)
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QRコード入力・生産管理ソフトなど幅広い要望に対応できます(オプション)
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装置全体のカバーリング対応可能(有害ガスが作業環境に放出されません)
半導体関連
小中規模生産用汎用モデル
特徴
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多種多様な工程、後処理にも対応可能
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小型製品、複雑形状品に最適
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全自動プログラムを採用、各種安全対策対応可能
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QRコード入力・生産管理ソフトなど幅広い要望に対応できます(オプション)
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装置全体のカバーリング対応可能(有害ガスが作業環境に放出されません)
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